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三維激光直寫光刻機(jī)的簡(jiǎn)介和主要性能參數(shù)

更新時(shí)間:2022-05-19      點(diǎn)擊次數(shù):2214
  三維激光直寫光刻機(jī)提供豎直和掃描直寫模式,確保直接軌跡偏離小于100nm,具有電動(dòng)光學(xué)聚焦系統(tǒng),提供快速的聚焦功能,從而適合各種厚度襯底的要求,并具有晶圓裝載和卸載系統(tǒng)裝備到襯底室供客戶選配,增強(qiáng)清潔程度,提高工作量和用戶安全程度。激光直寫不僅具有無(wú)掩模板直寫系統(tǒng)的靈活性,還擁有高書(shū)寫速度和低成本的特點(diǎn)。
  三維激光直寫多個(gè)藍(lán)光激光頭可以在電腦控制下進(jìn)行平行工作對(duì)基片上無(wú)需高分辨率的部分進(jìn)行高速書(shū)寫曝光,之后自動(dòng)切換高分辨激光,并對(duì)需要高分辨的細(xì)節(jié)進(jìn)行加工。這樣的設(shè)計(jì)在加工速度和分辨率之間取得了好的平衡,并通過(guò)軟件改變曝光圖案設(shè)計(jì)完整保證了其靈活性。激光直寫內(nèi)置自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)通過(guò)調(diào)節(jié)基片臺(tái)在Z方向的位置,對(duì)基片上的紅色激光斑進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。只需單擊軟件上的對(duì)焦鍵就能完成對(duì)新放入的基片對(duì)焦。
  三維激光直寫簡(jiǎn)介:
  傳統(tǒng)的光刻工藝中一般使用鉻玻璃掩模板進(jìn)行圖案的曝光轉(zhuǎn)移,鉻玻璃掩模板需要定制加工,若調(diào)整圖案就要重新加工。在科研過(guò)程中,掩模版圖案的形狀、尺寸經(jīng)常需要調(diào)整,而無(wú)掩模激光直寫技術(shù)使用LayoutEditor、L-Edit、AutoCAD等軟件設(shè)計(jì)的電子掩模版,通過(guò)電腦控制激光掃描,不需要物理掩模板即可在光刻膠上繪出所要的圖案,完成圖案的曝光轉(zhuǎn)移,極大地提升了科研效率。
  三維激光直寫主要性能參數(shù):
 ?。?)采用405 nm激光光源,適用于大部分光刻膠產(chǎn)品。
  (2)該系統(tǒng)通過(guò)光聚焦或氣聚焦自動(dòng)對(duì)焦到樣品表面,可保證曝光分辨率。通過(guò)自動(dòng)對(duì)焦可以識(shí)別樣品尺寸并進(jìn)行圖案的傾斜校正。
 ?。?)該系統(tǒng)參數(shù)控制靈活,可以通過(guò)設(shè)置激光曝光能量(Dose)和聚焦度(Defocus)序列來(lái)快速確定最佳曝光參數(shù)。
  (4)該系統(tǒng)可靠性高,擁有高直寫速度(≥10 cm?/min),高圖形分辨率(≤1μm)、高套刻精度(≤500 nm)的特點(diǎn)。
 ?。?)該系統(tǒng)支持GDSⅡ、CIF、DXF、Geber (RS-274X) 等圖形格式。

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